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| 序号 | 股票 | 股东 | 持股数量(万股) | 持股变动 | 股份性质 | 占总股本比例 | 报告期 |
| 1 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司-吉林省碳芯瑞云股权投资合伙企业(有限合伙) | 583.75 | 未变 | 流通A股 | 0.99% | 2026-06-30 |
| 2 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司-吉林省碳芯瑞云股权投资合伙企业(有限合伙) | 583.75 | 未变 | 流通A股 | 0.99% | 2026-03-31 |
| 3 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司-吉林省碳芯瑞云股权投资合伙企业(有限合伙) | 583.75 | 未变 | 流通A股 | 0.99% | 2025-12-31 |
| 4 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司-吉林省碳芯瑞云股权投资合伙企业(有限合伙) | 583.75 | 未变 | 流通A股 | 0.99% | 2025-09-30 |
| 5 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司-吉林省碳芯瑞云股权投资合伙企业(有限合伙) | 583.75 | 未变 | 流通A股 | 0.99% | 2025-06-30 |
| 6 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司-吉林省碳芯瑞云股权投资合伙企业(有限合伙) | 583.75 | 未变 | 流通A股 | 0.99% | 2025-03-31 |
| 7 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司-吉林省碳芯瑞云股权投资合伙企业(有限合伙) | 583.75 | 未变 | 流通A股 | 0.99% | 2024-12-31 |
| 8 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司-吉林省碳芯瑞云股权投资合伙企业(有限合伙) | 583.75 | 未变 | 流通A股 | 0.99% | 2024-09-30 |
| 9 | 688716 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 403.85 | 未变 | 流通A股 | 3.32% | 2024-09-30 |
| 10 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司-吉林省碳芯瑞云股权投资合伙企业(有限合伙) | 583.75 | 未变 | 流通A股 | 0.99% | 2024-09-13 |
| 11 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司-吉林省碳芯瑞云股权投资合伙企业(有限合伙) | 583.75 | 未变 | 流通A股 | 0.99% | 2024-09-02 |
| 12 | 688716 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 403.85 | 未变 | 限售流通股 | 3.32% | 2024-06-30 |
| 13 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司-吉林省碳芯瑞云股权投资合伙企业(有限合伙) | 583.75 | 未变 | 流通A股 | 0.99% | 2024-06-30 |
| 14 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司-吉林省碳芯瑞云股权投资合伙企业(有限合伙) | 583.75 | 未变 | 流通A股 | 0.99% | 2024-03-31 |
| 15 | 688716 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 403.85 | 未变 | 流通A股,限售流通股 | 3.32% | 2024-03-31 |
| 16 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司-吉林省碳芯瑞云股权投资合伙企业(有限合伙) | 583.75 | 未变 | 流通A股 | 0.99% | 2023-12-31 |
| 17 | 688716 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 403.85 | 未变 | 限售流通股 | 3.32% | 2023-12-31 |
| 18 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司-吉林省碳芯瑞云股权投资合伙企业(有限合伙) | 583.75 | 未变 | 流通A股 | 0.99% | 2023-09-30 |
| 19 | 688716 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 403.85 | 未变 | 限售流通股 | 3.32% | 2023-09-30 |
| 20 | 688716 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 403.85 | 未变 | 受限流通股 | 3.32% | 2023-09-20 |
| 21 | 688716 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 403.85 | 未变 | 限售流通股 | 4.43% | 2023-09-11 |
| 22 | 688716 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 403.85 | 未变 | 国有法人股 | 4.43% | 2023-09-01 |
| 23 | 688716 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 403.85 | 未变 | 境内法人股 | 4.43% | 2023-08-09 |
| 24 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司-吉林省碳芯瑞云股权投资合伙企业(有限合伙) | 583.75 | 未变 | 受限流通股 | 0.99% | 2023-08-03 |
| 25 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司-吉林省碳芯瑞云股权投资合伙企业(有限合伙) | 583.75 | 未变 | 流通受限股份 | 1.08% | 2023-06-30 |
| 26 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司-吉林省碳芯瑞云股权投资合伙企业(有限合伙) | 583.75 | 增持 | 限售流通股 | 1.08% | 2023-06-29 |
| 27 | 688716 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 403.85 | 未变 | 国有法人股 | 4.43% | 2023-06-29 |
| 28 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司-吉林省碳芯瑞云股权投资合伙企业(有限合伙) | 343.38 | 未变 | 限售流通股 | 1.08% | 2023-03-31 |
| 29 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司-吉林省碳芯瑞云股权投资合伙企业(有限合伙) | 343.38 | 新进 | 流通A股 | 1.08% | 2022-12-31 |
| 30 | 688716 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 403.85 | 未变 | 可转让股份 | 4.43% | 2022-12-31 |
| 31 | 688716 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 403.85 | 未变 | 国有法人股 | 4.43% | 2022-09-16 |
| 32 | 688716 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 403.85 | 未变 | 可转让股份 | 4.43% | 2022-06-30 |
| 33 | 688716 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 403.85 | 新进 | 可转让股份 | 4.43% | 2021-12-31 |
| 34 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 154 | 减持 | 流通A股 | 0.48% | 2021-12-31 |
| 35 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 789 | 未变 | 可转让股份 | 2.5% | 2021-09-30 |
| 36 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 789 | 未变 | 可转让股份 | 2.5% | 2021-08-31 |
| 37 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 789 | 未变 | 可转让股份 | 2.69% | 2021-06-30 |
| 38 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 789 | 未变 | 可转让股份 | 2.69% | 2021-03-31 |
| 39 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 789 | 未变 | 可转让股份 | 2.69% | 2020-12-31 |
| 40 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 789 | 未变 | 可转让股份 | 2.69% | 2020-09-30 |
| 41 | 920077 | 吉林省科技投资基金有限公司 | 789 | 新进 | 可转让股份 | 2.69% | 2020-09-11 |
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