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| 序号 | 股票 | 股东 | 持股数量(万股) | 持股变动 | 股份性质 | 占总股本比例 | 报告期 |
| 1 | 688785 | 深圳市恒运昌真空技术投资中心(有限合伙) | 1054.96 | 未变 | 限售流通股 | 15.58% | 2026-03-31 |
| 2 | 688785 | 深圳市恒运昌投资发展中心(有限合伙) | 161.94 | 未变 | 限售流通股 | 2.39% | 2026-03-31 |
| 3 | 688785 | 深圳市恒运昌投资有限公司 | 1310.81 | 未变 | 限售流通股 | 19.36% | 2026-03-31 |
| 4 | 688785 | 深圳市恒运昌投资有限公司 | 1310.81 | 未变 | 受限流通股 | 19.36% | 2026-01-28 |
| 5 | 688785 | 深圳市恒运昌投资中心(有限合伙) | 1054.96 | 未变 | 受限流通股 | 15.58% | 2026-01-28 |
| 6 | 688785 | 深圳市恒运昌投资发展中心(有限合伙) | 161.94 | 未变 | 受限流通股 | 2.39% | 2026-01-28 |
| 7 | 688785 | 深圳市恒运昌投资发展中心(有限合伙) | 161.94 | 未变 | 限售流通股 | 3.19% | 2026-01-16 |
| 8 | 688785 | 深圳市恒运昌投资中心(有限合伙) | 1054.96 | 未变 | 限售流通股 | 20.78% | 2026-01-16 |
| 9 | 688785 | 深圳市恒运昌投资有限公司 | 1310.81 | 未变 | 限售流通股 | 25.82% | 2026-01-16 |
| 10 | 688785 | 深圳市恒运昌投资中心(有限合伙) | 1054.96 | 未变 | 境内法人股 | 20.78% | 2026-01-08 |
| 11 | 688785 | 深圳市恒运昌投资发展中心(有限合伙) | 161.94 | 未变 | 境内法人股 | 3.19% | 2026-01-08 |
| 12 | 688785 | 深圳市恒运昌投资有限公司 | 1310.81 | 未变 | 境内法人股 | 25.82% | 2026-01-08 |
| 13 | 688785 | 深圳市恒运昌投资发展中心(有限合伙) | 161.94 | 未变 | 限售流通股 | 3.19% | 2025-12-31 |
| 14 | 688785 | 深圳市恒运昌真空技术投资中心(有限合伙) | 1054.96 | 新进 | 限售流通股 | 20.78% | 2025-12-31 |
| 15 | 688785 | 深圳市恒运昌投资有限公司 | 1310.81 | 未变 | 限售流通股 | 25.82% | 2025-12-31 |
| 16 | 688785 | 深圳市恒运昌投资中心(有限合伙) | 1054.96 | 未变 | 限售流通股 | 20.78% | 2025-11-14 |
| 17 | 688785 | 深圳市恒运昌投资有限公司 | 1310.81 | 未变 | 限售流通股 | 25.82% | 2025-11-14 |
| 18 | 688785 | 深圳市恒运昌投资发展中心(有限合伙) | 161.94 | 未变 | 限售流通股 | 3.19% | 2025-11-14 |
| 19 | 688785 | 深圳市恒运昌投资发展中心(有限合伙) | 161.94 | 未变 | 限售流通股 | 3.19% | 2025-11-07 |
| 20 | 688785 | 深圳市恒运昌投资有限公司 | 1310.81 | 未变 | 限售流通股 | 25.82% | 2025-11-07 |
| 21 | 688785 | 深圳市恒运昌投资中心(有限合伙) | 1054.96 | 未变 | 限售流通股 | 20.78% | 2025-11-07 |
| 22 | 688785 | 深圳市恒运昌投资发展中心(有限合伙) | 161.94 | 未变 | 境内法人股 | 3.19% | 2025-10-17 |
| 23 | 688785 | 深圳市恒运昌投资中心(有限合伙) | 1054.96 | 未变 | 境内法人股 | 20.78% | 2025-10-17 |
| 24 | 688785 | 深圳市恒运昌投资有限公司 | 1310.81 | 未变 | 境内法人股 | 25.82% | 2025-10-17 |
| 25 | 688785 | 深圳市恒运昌投资发展中心(有限合伙) | 161.94 | 新进 | 境内法人股 | 3.19% | 2025-06-13 |
| 26 | 688785 | 深圳市恒运昌投资中心(有限合伙) | 1054.96 | 新进 | 境内法人股 | 20.78% | 2025-06-13 |
| 27 | 688785 | 深圳市恒运昌投资有限公司 | 1310.81 | 新进 | 境内法人股 | 25.82% | 2025-06-13 |
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