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| 序号 | 股票 | 股东 | 持股数量(万股) | 持股变动 | 股份性质 | 占总股本比例 | 报告期 |
| 1 | 300353 | 深圳中航产业投资管理企业(有限合伙)-深圳中航智能装备股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 568.35 | 减持 | 境内法人股 | 1.088% | 2024-09-30 |
| 2 | 688543 | 深圳中航产业投资管理企业(有限合伙)-深圳中航智能装备股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 295.19 | 减持 | 境内法人股 | 3.615% | 2024-09-30 |
| 3 | 301189 | 中航南山股权投资基金管理(深圳)有限公司-深圳中航坪山集成电路创业投资合伙企业(有限合伙) | 81.27 | 未变 | 境内法人股 | 1.988% | 2024-09-30 |
| 4 | 300353 | 深圳中航产业投资管理企业(有限合伙)-深圳中航智能装备股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 1230 | 未变 | 境内法人股 | 2.355% | 2024-06-30 |
| 5 | 688543 | 深圳中航产业投资管理企业(有限合伙)-深圳中航智能装备股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 470.8 | 新进 | 境内法人股 | 5.766% | 2024-06-30 |
| 6 | 301189 | 中航南山股权投资基金管理(深圳)有限公司-深圳中航坪山集成电路创业投资合伙企业(有限合伙) | 81.27 | 未变 | 境内法人股 | 1.988% | 2024-06-30 |
| 7 | 300353 | 深圳中航产业投资管理企业(有限合伙)-深圳中航智能装备股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 1230 | 未变 | 境内法人股 | 2.355% | 2024-03-31 |
| 8 | 301189 | 中航南山股权投资基金管理(深圳)有限公司-深圳中航坪山集成电路创业投资合伙企业(有限合伙) | 81.27 | 未变 | 境内法人股 | 1.974% | 2024-03-31 |
| 9 | 300353 | 深圳中航产业投资管理企业(有限合伙)-深圳中航智能装备股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 1230 | 未变 | 境内法人股 | 2.796% | 2023-12-31 |
| 10 | 301189 | 中航南山股权投资基金管理(深圳)有限公司-深圳中航坪山集成电路创业投资合伙企业(有限合伙) | 81.27 | 未变 | 境内法人股 | 1.974% | 2023-12-31 |
| 11 | 301189 | 中航南山股权投资基金管理(深圳)有限公司-深圳中航坪山集成电路创业投资合伙企业(有限合伙) | 81.27 | 减持 | 境内法人股 | 1.974% | 2023-09-30 |
| 12 | 688237 | 中航南山股权投资基金管理(深圳)有限公司-深圳中航坪山集成电路创业投资合伙企业(有限合伙) | 100.08 | 新进 | 境内法人股 | 2.623% | 2023-09-30 |
| 13 | 300353 | 深圳中航产业投资管理企业(有限合伙)-深圳中航智能装备股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 1230 | 未变 | 境内法人股 | 2.796% | 2023-09-30 |
| 14 | 301189 | 中航南山股权投资基金管理(深圳)有限公司-深圳中航坪山集成电路创业投资合伙企业(有限合伙) | 81.62 | 减持 | 境内法人股 | 1.982% | 2023-06-30 |
| 15 | 300353 | 深圳中航产业投资管理企业(有限合伙)-深圳中航智能装备股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 1230 | 未变 | 境内法人股 | 2.793% | 2023-06-30 |
| 16 | 301189 | 中航南山股权投资基金管理(深圳)有限公司-深圳中航坪山集成电路创业投资合伙企业(有限合伙) | 120.93 | 减持 | A股 | 2.94% | 2023-03-31 |
| 17 | 300353 | 深圳中航产业投资管理企业(有限合伙)-深圳中航智能装备股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 1230 | 未变 | 境内法人股 | 2.802% | 2023-03-31 |
| 18 | 300353 | 深圳中航产业投资管理企业(有限合伙)-深圳中航智能装备股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 1230 | 未变 | 境内法人股 | 2.802% | 2022-12-31 |
| 19 | 301189 | 中航南山股权投资基金管理(深圳)有限公司-深圳中航坪山集成电路创业投资合伙企业(有限合伙) | 235.82 | 新进 | 境内法人股 | 5.727% | 2022-12-31 |
| 20 | 300353 | 深圳中航产业投资管理企业(有限合伙)-深圳中航智能装备股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 1230 | 未变 | 境内法人股 | 2.802% | 2022-09-30 |
| 21 | 300353 | 深圳中航产业投资管理企业(有限合伙)-深圳中航智能装备股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 1230 | 未变 | 境内法人股 | 2.951% | 2022-06-30 |
| 22 | 300353 | 深圳中航产业投资管理企业(有限合伙)-深圳中航智能装备股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 1230 | 未变 | 境内法人股 | 2.941% | 2022-03-31 |
| 23 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 1086.3 | 减持 | 国有股 | 1.629% | 2022-03-31 |
| 24 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 1086.3 | 减持 | 国有股 | 1.629% | 2022-03-31 |
| 25 | 300353 | 深圳中航产业投资管理企业(有限合伙)-深圳中航智能装备股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 1230 | 未变 | 境内法人股 | 3.058% | 2021-12-31 |
| 26 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 1137.8 | 未变 | 国有股 | 1.706% | 2021-12-31 |
| 27 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 1137.8 | 未变 | 国有股 | 1.706% | 2021-12-31 |
| 28 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 1137.8 | 减持 | 国有股 | 1.706% | 2021-09-30 |
| 29 | 300353 | 深圳中航产业投资管理企业(有限合伙)-深圳中航智能装备股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 1230 | 未变 | 境内法人股 | 3.058% | 2021-09-30 |
| 30 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 1137.8 | 减持 | 国有股 | 1.706% | 2021-09-30 |
| 31 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 3258.49 | 减持 | 国有股 | 4.887% | 2021-06-30 |
| 32 | 300353 | 深圳中航产业投资管理企业(有限合伙)-深圳中航智能装备股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 1230 | 新进 | 境内法人股 | 3.058% | 2021-06-30 |
| 33 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 3258.49 | 减持 | 国有股 | 4.887% | 2021-06-30 |
| 34 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 3266.3 | 未变 | A股 | 4.9% | 2021-03-31 |
| 35 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 3266.3 | 未变 | 国有股 | 4.898% | 2021-03-31 |
| 36 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 3266.3 | 减持 | A股 | 4.9% | 2020-12-31 |
| 37 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 3266.30 | 减持 | 3.08% | 2020-12-31 | |
| 38 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 3653.31 | 减持 | 3.45% | 2020-09-30 | |
| 39 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 3653.31 | 减持 | A股 | 5.48% | 2020-09-30 |
| 40 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 4179.19 | 减持 | A股 | 6.27% | 2020-06-30 |
| 41 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 4179.19 | 减持 | 3.94% | 2020-06-30 | |
| 42 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 4.51% | 2020-03-31 | |
| 43 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | A股 | 7.17% | 2020-03-31 |
| 44 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 4.51% | 2019-12-31 | |
| 45 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | A股 | 7.17% | 2019-12-31 |
| 46 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 7.17% | 2019-09-30 | |
| 47 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 7.17% | 2019-09-30 | |
| 48 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.17% | 2019-06-30 |
| 49 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 7.17% | 2019-06-30 | |
| 50 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.17% | 2019-04-12 |
| 51 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.17% | 2019-04-12 |
| 52 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 7.17% | 2019-03-31 | |
| 53 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.17% | 2019-03-31 |
| 54 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.171% | 2018-12-31 |
| 55 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.17% | 2018-12-31 |
| 56 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.171% | 2018-09-30 |
| 57 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.17% | 2018-09-30 |
| 58 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.17% | 2018-06-30 |
| 59 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.171% | 2018-06-30 |
| 60 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.17% | 2018-03-31 |
| 61 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.171% | 2018-03-31 |
| 62 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.17% | 2017-12-31 |
| 63 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.171% | 2017-12-31 |
| 64 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.171% | 2017-09-30 |
| 65 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.17% | 2017-09-30 |
| 66 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.17% | 2017-06-30 |
| 67 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.171% | 2017-06-30 |
| 68 | 000043 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.171% | 2017-03-31 |
| 69 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 未变 | 流通A股 | 7.17% | 2017-03-31 |
| 70 | 001914 | 深圳中航城发展有限公司 | 4782.79 | 新进 | 流通A股 | 7.17% | 2016-12-31 |
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