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| 序号 | 股票 | 股东 | 持股数量(万股) | 持股变动 | 股份性质 | 占总股本比例 | 报告期 |
| 1 | 301296 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 4203.14 | 减持 | 国有股 | 9.895% | 2026-03-31 |
| 2 | 301296 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 4373.31 | 未变 | 国有股 | 15.142% | 2025-12-31 |
| 3 | 301296 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 4373.31 | 未变 | 国有股 | 15.142% | 2025-09-30 |
| 4 | 688362 | 青岛城投私募基金管理有限公司-青岛海丝民和股权投资基金企业(有限合伙) | 222.11 | 减持 | 境内法人股 | 0.794% | 2025-06-30 |
| 5 | 301296 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 4373.31 | 未变 | 国有股 | 16.097% | 2025-06-30 |
| 6 | 301296 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 4373.31 | 未变 | 国有股 | 16.097% | 2025-03-31 |
| 7 | 688652 | 青岛民和德元创业投资管理中心(有限合伙)-青岛海丝民合半导体投资中心(有限合伙) | 191.29 | 减持 | 境内法人股 | 1.872% | 2025-03-31 |
| 8 | 688362 | 青岛城投私募基金管理有限公司-青岛海丝民和股权投资基金企业(有限合伙) | 382.63 | 减持 | 境内法人股 | 1.374% | 2025-03-31 |
| 9 | 688362 | 青岛城投私募基金管理有限公司-青岛海丝民和股权投资基金企业(有限合伙) | 651.71 | 减持 | 境内法人股 | 2.339% | 2024-12-31 |
| 10 | 688652 | 青岛民和德元创业投资管理中心(有限合伙)-青岛海丝民合半导体投资中心(有限合伙) | 400.16 | 新进 | 境内法人股 | 3.915% | 2024-12-31 |
| 11 | 301296 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 4373.31 | 未变 | 国有股 | 16.097% | 2024-12-31 |
| 12 | 688362 | 青岛城投私募基金管理有限公司-青岛海丝民和股权投资基金企业(有限合伙) | 930.26 | 未变 | 境内法人股 | 3.368% | 2024-10-28 |
| 13 | 301296 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 4373.31 | 未变 | 国有股 | 16.097% | 2024-09-30 |
| 14 | 688362 | 青岛城投私募基金管理有限公司-青岛海丝民和股权投资基金企业(有限合伙) | 930.26 | 未变 | 境内法人股 | 3.368% | 2024-09-30 |
| 15 | 688362 | 青岛城投私募基金管理有限公司-青岛海丝民和股权投资基金企业(有限合伙) | 930.26 | 未变 | 境内法人股 | 3.368% | 2024-06-30 |
| 16 | 301296 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 4373.31 | 未变 | 国有股 | 16.097% | 2024-06-30 |
| 17 | 301296 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 4373.31 | 未变 | 国有股 | 16.097% | 2024-04-01 |
| 18 | 301296 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 4373.31 | 未变 | 国有股 | 16.097% | 2024-03-31 |
| 19 | 688362 | 青岛城投私募基金管理有限公司-青岛海丝民和股权投资基金企业(有限合伙) | 930.26 | 未变 | 境内法人股 | 3.378% | 2024-03-31 |
| 20 | 688362 | 青岛城投私募基金管理有限公司-青岛海丝民和股权投资基金企业(有限合伙) | 930.26 | 未变 | 境内法人股 | 3.378% | 2024-02-22 |
| 21 | 301296 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 4373.31 | 新进 | 国有股 | 16.097% | 2023-12-31 |
| 22 | 688362 | 青岛城投私募基金管理有限公司-青岛海丝民和股权投资基金企业(有限合伙) | 930.26 | 新进 | 境内法人股 | 3.378% | 2023-12-31 |
| 23 | 002987 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 220.71 | 减持 | 国有股 | 1.694% | 2022-12-31 |
| 24 | 002987 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 244.54 | 减持 | 国有股 | 1.877% | 2022-09-30 |
| 25 | 002987 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 360.95 | 减持 | 国有股 | 2.77% | 2022-06-30 |
| 26 | 002987 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 423.6 | 减持 | 国有股 | 4.556% | 2022-03-31 |
| 27 | 002987 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 604.07 | 减持 | 国有股 | 6.497% | 2021-12-31 |
| 28 | 603118 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 269.52 | 未变 | A股 | 0.35% | 2021-09-30 |
| 29 | 002987 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 890.93 | 减持 | 国有股 | 9.582% | 2021-09-30 |
| 30 | 002987 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 1081.93 | 新进 | 国有股 | 11.636% | 2021-06-30 |
| 31 | 603118 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 269.52 | 未变 | 国有股 | 0.347% | 2021-06-30 |
| 32 | 603118 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 269.52 | 未变 | A股 | 0.35% | 2021-03-31 |
| 33 | 603118 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 269.52 | 减持 | A股 | 0.35% | 2020-12-31 |
| 34 | 603118 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 326.71 | 减持 | A股 | 0.42% | 2020-09-30 |
| 35 | 603118 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 388.81 | 未变 | A股 | 0.5% | 2020-06-30 |
| 36 | 603118 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 388.81 | 增持 | A股 | 0.5% | 2020-03-31 |
| 37 | 603118 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 241.71 | 减持 | A股 | 0.31% | 2019-12-31 |
| 38 | 300748 | 青岛海丝青云股权投资基金企业 | 388.00 | 新进 | 0.94% | 2019-09-30 | |
| 39 | 603118 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 284.29 | 减持 | A股 | 0.37% | 2019-09-30 |
| 40 | 603118 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 502.29 | 减持 | 流通A股 | 0.65% | 2019-03-31 |
| 41 | 603118 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 688.29 | 未变 | 流通A股 | 0.88% | 2018-12-31 |
| 42 | 603118 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 688.29 | 未变 | 流通A股 | 0.88% | 2018-09-30 |
| 43 | 603118 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 688.29 | 减持 | 流通A股 | 0.88% | 2018-06-30 |
| 44 | 603118 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 1020.29 | 未变 | 流通A股 | 1.305% | 2018-03-31 |
| 45 | 603118 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 1020.29 | 未变 | 流通A股 | 1.305% | 2017-12-31 |
| 46 | 603118 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 1020.29 | 未变 | 流通A股 | 1.303% | 2017-09-30 |
| 47 | 603118 | 青岛海丝创新股权投资基金企业(有限合伙) | 1020.29 | 新进 | 流通A股 | 1.303% | 2017-06-30 |
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