网友提问 ：请董秘老师普及一下知识，接以往回复，光栅尺的最高分辨率可以达到2.5nm，高精尺目前是1um/m，进步了一个等级精度却倒退了？高精尺是新事物需要从基础再来一次？是这个理吗？
2023-07-22 23:41:01
奥普光电最新互动问答
- 请问老师，从理论上讲，光刻机半导体设备需要用到光栅尺和编码器的，贵司这两种高端产品是国内独一无二的产品，为什么贵司总是回复未参与光刻机项目或者相关产品未在光刻机分系统上做测试呢？
2023-07-31 12:19:12
- 请问老师，从理论上讲，光栅尺是否可以用于DUV光刻机呢？高精尺和超精尺理论上讲是否可以EUV光刻机呢？
2023-07-31 12:19:57
- 请问老师，高精尺能够达到或优于1um/m，假如最小单位刻度是2.5nm，循环完1m需要1000000000/2.5=400000000次，最小单位刻度误差1000/400000000=0.0000025nm/次，是这样理解吗？
2023-07-31 12:20:56
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