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网友提问 :您好!光刻机掩模台系统中音圈电机运动工况分为扫描运动和定位运动,其中扫描运动主要完成硅片曝光处理,该运动对定位精度以及速度稳定性有极高要求,在稳定基础上追求时间的优化。音圈电机系统具有较低的阻尼比,是光刻机很重要的要件。请问公司此类高端装备用的音圈电机方面有没有研发?进展成果如何?谢谢

2020-05-20 18:17:04

江苏雷利 (300660): 回答:
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2020-05-29 09:30:57

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江苏雷利

法定名称:
江苏雷利电机股份有限公司
公司简介:
2006年4月29日,公司前身常州月华电机有限公司成立,后更名为常州乐士雷利电机有限公司。
经营范围:
家用电器、汽车微特电机、医疗仪器用智能化组件、工控电机及组件及相关零部件的研发、生产与销售。
注册地址
江苏省常州市武进区遥观镇钱家塘路19号
办公地址
江苏省常州市武进区遥观镇钱家塘路19号
主营收入
104400