网友提问 :贵公司在2021年报中提及“公司在对晶圆选区剥离方面论证完成并且开始布局专利,有望大幅简化传统工艺中曝光、显影、蚀刻、清洗等复杂制程,有助于降低光刻胶的用量和光刻清洗(酸洗)的环境污染问题。与浙江大学共建联合研发中心,合作内容包括“用于半导体行业的高功率紫外与深紫外激光技术” 等项目”,是否可以详细介绍一下相关的专利是如何降低光刻胶的用量(请注意我问的并不是贵公司是否有产品用于光刻机领域)谢谢
2023-03-09 21:42:03
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英诺激光
法定名称:英诺激光科技股份有限公司
公司简介:
2011年11月30日,公司前身“深圳英诺激光科技有限公司”成立。
经营范围:
研发、生产和销售微加工激光器和定制激光模组。
注册地址广东省深圳市南山区创智云城大厦(工业区)1标段1栋A座11层01号
办公地址广东省深圳市南山区西丽街道创智云城大厦(工业区)1标段1栋A座11层01号
主营收入11500

