网友提问 ：公司开发的锡滴过滤与真空蒸馏回收系统，此前称已集成于上海微电子LPP-EUV光源，可将锡利用率提升至95%。请问该系统目前在客户产线的实际运行中，锡纯度恢复是否稳定达到99.999%的EUV光源要求？是否已进入中芯国际等晶圆厂的EUV验证线测试？
2025-08-25 18:25:02
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法定名称：广东汇成真空科技股份有限公司
公司简介：
2006年8月14日,东莞市汇成真空科技有限公司成立。
经营范围：
真空镀膜设备研发、生产、销售及其技术服务为主的真空应用解决方案供应商
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