网友提问 ：董秘你好，公司设备模块化设计，可结合等离子清洗（Plasma-clean）单元，磁控溅射（SPT）单元，等离子增强化学反应（PECVD）单元，原子层沉积（ALD）单元，以及等离子化学反应刻蚀（RIE）单元，拓展成簇式微纳加工中心，涵盖半导体微纳结构加工的基材清洗、薄膜沉积（含超薄薄膜）和图案化刻蚀整套工序。请问刻蚀设备跟清洗设备公司有这方面技术积累吗？
2024-07-05 13:57:43
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汇成真空
法定名称：广东汇成真空科技股份有限公司
公司简介：
2006年8月14日,东莞市汇成真空科技有限公司成立。
经营范围：
真空镀膜设备研发、生产、销售及其技术服务为主的真空应用解决方案供应商
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