网友提问 :4、陶瓷加热器与静电卡盘主要有哪些区别?产线是否可以共用?根据《招股说明书》公司陶瓷加热器已经量产,静电卡盘进展如何?
2024-08-28 00:00:00
珂玛科技 (301611): 回答:答:根据半导体行业内通常的认识,陶瓷加热器主要应用于薄膜沉积设备,由于涉及到高温制程,采用的陶瓷材料主要为氮化铝;静电卡盘主要应用于刻蚀设备,采用的陶瓷材料主要为氧化铝。随着半导体工艺的发展,陶瓷加热器与静电卡盘的区分开始有些模糊,比如公司生产的应用于薄膜沉积设备的某款陶瓷加热器就带静电卡盘,具备高温加热和静电吸附双重功能,在客户端就称之为静电卡盘,而用于刻蚀设备的静电卡盘也开始涉及高温制程,陶瓷材料就要从氧化铝转变为氮化铝。除少数工艺环节外,陶瓷加热器与静电卡盘的产线是不可以共用的,陶瓷材料氧化铝和氮化铝等本身就需要隔离,否则会影响纯净度,半导体行业对纯净度有极致的要求,而且加工工艺流程差别非常大。目前公司具备完整的陶瓷加热器产线,正想方设法提高产能,公司有独立产线小批量生产 8 寸静电卡盘,12 寸静电卡盘正处于客户验证阶段,公司将根据研发及客户验证进度搭建静电卡盘产线以满足较大批量生产的需要。
2024-08-28 00:00:00
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2024-08-28 00:00:00
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2024-08-28 00:00:00
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2024-08-28 00:00:00
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2024-08-29 16:51:01
- 董秘你好,1.请问订单饱和,但产能不足,您说生产流程提高效率提升产能,那么这部分提升空间有多少?
2.主要是现有的场地约束了产能么?谢谢
2024-08-29 16:58:46
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2009年4月27日,公司前身苏州珂玛材料技术有限公司成立。
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