万业企业 (600641): 回答：A：万业企业深耕半导体产业链多个关键环节，以旗下凯世通在集成电路离子注入机领域先进行重点布局，并进一步通过嘉芯半导体业务拓展至刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等核心半导体前道设备领域，坚定不移地推进“1+N”半导体设备平台化发展战略。嘉芯半导体目前专注于成熟工艺的 8 英寸半导体设备，旗下拥有子公司嘉芯迦能、嘉芯闳扬和新产品研发部等，形成多个半导体前道核心设备产品线。订单涵盖多种关键设备，包括氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、深槽刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机；高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD）、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）、钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）、铝铜金属溅射设备（MetalSputter(Al/Ti/TiN)）、快速热处理（RTP）设备，以及双燃烧+双水洗尾气处理等多样化设备，为汽车芯片、功率芯片、逻辑芯片等集成电路晶圆制造厂提供成套的前道设备解决方案。在产品矩阵中，公司自主研发的 PHOEBUS PVD 设备，是一款先进的全自动集群式物理气相沉积(PVD)系统，具备多沉积室配置，能够通过创造超高真空环境并精确控制各种过程变量，实现高精度的薄膜沉积。同时，公司致力于提供全面的流程控制和一站式的设备解决方案，产品线覆盖了 CVD/PVD/刻蚀等主要工艺设备。嘉芯半导体的设备制造基地坐落于浙江省嘉善，占地 109 亩，建筑面积达 14 万平方米，已于 2023 年 11 月竣工并投入使用。此外，嘉芯半导体的服务网络已经扩展至上海、天津、青岛、莆田、深圳等多个城市，公司在 2023 年前三季度的订单额超过 1.3 亿元人民币，自成立以来累计订单金额约 4.7 亿元人民币。作为国内半导体设备行业的新兴力量，嘉芯半导体当前主要布局成熟工艺，通过不断的研发投入，旨在夯实市场根基，逐步拓展市场影响力。

2024-03-31 00:00:00