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网友提问 ：凯世通后续的研发方向是什么，有碳化硅产品的规划吗？

2024-10-08 09:09:00

万业企业 (600641): 回答：尊敬的投资者，您好。随着芯片制造工艺不断走向精密化，市场对于集成电路设备的性能提出了更高的技术要求。对离子注入而言，芯片设计的日益复杂，对离子注入机提出更高的技术要求，如高能量、高精度、高均匀度、低污染等，所需的离子注入工序亦相应增加。同时，芯片制程的升级也带来了新的掺杂需求，如SOI、MEMS等特殊工艺，这就需要开发新型的离子注入机来满足。目前凯世通正在积极对标国内集成电路产业发展新需求新应用，瞄准前沿集成电路工艺演进趋势，把握国产化机遇，推进包括SOI氢离子注入机、中束流离子注入机、超高能离子注入机等特色工艺设备落地，并加快面向特色工艺的SiC化合物半导体离子注入机的研发与应用。感谢您的关注。

2024-10-08 09:34:00

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万业企业

法定名称：
上海万业企业股份有限公司
公司简介：
公司原名上海众城实业股份有限公司,1991年10月28日经上海市人民政府办公厅沪府办(1991)105号文批准成立,1991年10月28日由上海市工商行政管理局颁发企业法人营业执照。公司所发行的A股于1993年4月7日在上海证券交易所上市交易。1998年3月20日由于中远(上海)置业发展有限公司完成了对上市公司68.37%发起人股的收购,公司更名为“中远发展股份有限公司”。2001年4月12日公司2000年度股东大会通过了“关于公司向社会公开募集8,000万股A股”的决议,2002年1月25日获取了中国证监会证监发行字[2001]66号文“关于核准中远发展股份有限公司发行股票的通知”,并于2002年2月增发新股8,000万股A股。公司网上发行新股(78,598,034股)于2002年3月1日上市交易,网下机构投资者配售股份(1,401,966股)于2002年6月3日上市交易。后公司控股股东变更为三林万业(上海)企业集团有限公司,公司更名为上海万业企业股份有限公司。
经营范围：
集成电路、光伏等领域的核心装备、房地产。
注册地址
中国(上海)自由贸易试验区浦明路1500号12层(名义楼层15层)
办公地址
上海市浦东新区浦明路1500号
主营收入