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网友提问 :董秘你好,公司有没有能力对先进芯片生产设备维护与清洗?

2024-09-12 15:38:20

至纯科技 (603690): 回答:您好,公司为客户提供湿法清洗设备及其相关服务。公司的湿法清洗设备聚焦晶圆制造的前道工艺,主要应用于扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积等关键工序段前后。高端产品包括SPM高温硫酸、去胶、晶背清洗等清洗设备。详情请见公司定期报告。

2024-09-12 15:38:20

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至纯科技

法定名称:
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
公司简介:
2000年11月13日,公司前身上海至纯洁净系统科技有限公司成立。2011年9月9日,公司全体股东一致同意将公司组织形式由有限责任公司整体变更为股份有限公司。
经营范围:
半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售,以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。
注册地址
上海市闵行区紫海路170号
办公地址
上海市闵行区紫海路170号
主营收入