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网友提问 ：请问公司现在针对存储芯片专门研制的ALD设备是用的臭氧路径吗？臭氧路径有什么优势呢？

2026-01-29 19:24:15

微导纳米 (688147): 回答：
www.tetegu.com

2026-01-29 19:24:15

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微导纳米

法定名称：
江苏微导纳米科技股份有限公司
公司简介：
2015年12月25日,公司前身江苏微导纳米装备科技有限公司成立。
经营范围：
以ALD技术为核心,致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用,为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案。
注册地址
江苏省无锡市新吴区长江南路27号
办公地址
江苏省无锡市新吴区漓江路11号
主营收入
48200