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网友提问 :董秘你好!在第三代半导体领域,随着5G通讯、新能源汽车和充电桩等市场加速,进一步推动IGBT、SiC、GaN等功率器件的需求。ALD技术的金属氧化物、氮化物薄膜可作为栅氧层、钝化层和过渡层等,起到更好的器件漏电抑制、阻水阻氧效果。请问贵司第三代半导体碳化硅、氮化镓器件生产中是否采用ALD镀膜沉积制程?贵司是否已经掌握ALD或者CVD关键技术及设备制造?

2022-09-14 22:20:02

天岳先进 (688234): 回答:
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2022-09-14 22:20:02

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天岳先进

法定名称:
山东天岳先进科技股份有限公司
公司简介:
2010年11月2日,公司前身"山东天岳先进材料科技有限公司"成立。
经营范围:
碳化硅衬底的研发、生产和销售。
注册地址
山东省济南市槐荫区天岳南路99号
办公地址
山东省济南市槐荫区天岳南路99号
主营收入
36600