网友提问 ：请问董秘：公司专利《风机控制系统》（专利号：CN202410000003A）整合CPU（实时控制）与神经网络处理器（数据分析），降低硬件成本。该架构能否用于光刻机多任务同步？例如CPU处理微秒级曝光任务，神经网络预测光学热变形（如提升28nm DUV良率）。
2025-09-12 17:47:17
电气风电最新互动问答
- 请问董秘：公司合作方专利《一种超疏水性表面加工方法》（专利号：CN202310000000X）利用等离子刻蚀形成微米级疏水结构，防止结冰。该技术能否用于光刻机光学元件防尘？例如保护物镜免受微粒污染（提升良率5%+），公司是否与上海微电子探讨技术移植？
2025-09-12 17:47:17
- 请问董秘：公司专利《传递函数确定方法、风况检测方法和风力发电机组》（专利号：CN202510000001A）通过计算流体力学（CFD）建立风况传递函数模型，提升响应精度。该技术能否迁移至光刻机气浮平台微压控制系统？例如优化晶圆台气流稳定性（对标上海微电子专利CN223063189U），减少湍流扰动以提升曝光对准精度？
2025-09-12 17:47:17
- 请问董秘：公司专利《风力发电机组及其控制系统》（专利号：CN202410000004A）通过加阻控制单元生成阻尼转矩，主动抑制传动链振动。公司是否计划将该算法用于光刻机主动减振？例如结合传感器实现纳米级振动补偿（如ASML的HMS模块）。
2025-09-12 17:47:17
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电气风电
法定名称：上海电气风电集团股份有限公司
公司简介：
2006年9月7日,上海电气风电设备有限公司成立。
经营范围：
风力发电设备设计、研发、制造和销售以及后市场配套服务。
注册地址上海市闵行区东川路555号己号楼8楼
办公地址上海市徐汇区漕宝路115号
主营收入128500
