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| 2025-09-30 | 北方华创 | 2.41万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 长川科技 | 11.67万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 3.82万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 8.07万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 华峰测控 | 3.59万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 4.43万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 汇成股份 | 39.22万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 富创精密 | 13.21万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 9.66万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 华虹公司 | 7.72万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 光迅科技 | 4万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 北方华创 | 0.61万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 光环新网 | 12万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 苏试试验 | 8万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 圣邦股份 | 1.3万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 赛意信息 | 4.5万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 奥飞数据 | 7万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 宏和科技 | 23万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 秦安股份 | 7万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中微公司 | 1.8万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 铂力特 | 3万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 广电计量 | 10万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 4.5万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华峰测控 | 2.2万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 新强联 | 2万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 思瑞浦 | 1.9万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 德固特 | 5万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 3万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 纳芯微 | 0.9万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 华海清科 | 1.5万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 富创精密 | 3.01万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 伟测科技 | 4万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 微导纳米 | 9万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 茂莱光学 | 0.9万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 5.5万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 威力传动 | 2万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 京仪装备 | 2万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 北方华创 | 0.75万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 日月股份 | 20万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 中微公司 | 1.35万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 锐明技术 | 4.5万股 | 不变 |
| 2025-03-31 | 芯源微 | 3.2万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 华峰测控 | 2万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 新强联 | 11万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 思瑞浦 | 2.1万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 拓荆科技 | 2万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 微导纳米 | 8万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 中航光电 | 3.5万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 金风科技 | 13万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 北方华创 | 0.3万股 | 新进 |
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