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| 2026-06-30 | 天孚通信 | 0.07万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 长川科技 | 0.3万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 阿石创 | 0.65万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 罗博特科 | 0.13万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 宏和科技 | 0.22万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 芯源微 | 0.37万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 神工股份 | 0.1万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 南亚新材 | 0.22万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 新洁能 | 0.2万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 欧科亿 | 0.25万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 芯碁微装 | 0.29万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 新锐股份 | 1.56万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 盛美上海 | 0.31万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 东芯股份 | 0.48万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 拓荆科技 | 0.15万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 华海清科 | 0.44万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 海光信息 | 0.24万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 凯格精机 | 0.6万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 唯特偶 | 0.2万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 鼎泰高科 | 0.28万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 微导纳米 | 1.1万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 佰维存储 | 0.26万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 民士达 | 0.5万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 天承科技 | 0.28万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 京仪装备 | 0.48万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 戈碧迦 | 1.1万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 汇成真空 | 0.35万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 珂玛科技 | 0.62万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 臻宝科技 | 0.11万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 罗博特科 | 0.25万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 芯源微 | 0.52万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 欧科亿 | 1.4万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 芯碁微装 | 0.6万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 0.5万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 远航精密 | 3.5万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 佰维存储 | 0.5万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 民士达 | 2.1万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 京仪装备 | 0.81万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 珂玛科技 | 0.9万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 菲利华 | 1万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 0.73万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 芯碁微装 | 0.8万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 海希通讯 | 3万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 禾昌聚合 | 2万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 利通科技 | 5万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 贝特瑞 | 1万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 富士达 | 2万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 吉林碳谷 | 5万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 东芯股份 | 0.9万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 莱特光电 | 2万股 | 新进 |
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