| 2025-09-30 | 北方华创 | 10.04万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 南大光电 | 29.11万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 长川科技 | 18.79万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 17.92万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 安集科技 | 5.04万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 寒武纪 | 2.72万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中芯国际 | 25.17万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 6万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 华海清科 | 10.49万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 海光信息 | 11.73万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 康强电子 | 2.38万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 北方华创 | 6.36万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 雅克科技 | 5.18万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 上海新阳 | 4万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 南大光电 | 25.06万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 长川科技 | 16万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 晶瑞电材 | 7.71万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 江丰电子 | 3.86万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 三佳科技 | 1.17万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 江化微 | 2.12万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 至纯科技 | 2.48万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中微公司 | 15.3万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 安集科技 | 4.26万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 2.93万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 华峰测控 | 2.96万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 神工股份 | 1万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 沪硅产业 | 32.17万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 寒武纪 | 2.25万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中芯国际 | 21.45万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 立昂微 | 9.74万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中晶科技 | 0.64万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 盛美上海 | 3.2万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 天岳先进 | 3.12万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 5.07万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华海清科 | 6.01万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 海光信息 | 10.03万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 联动科技 | 0.55万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 富创精密 | 2.78万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 有研硅 | 3.43万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 金海通 | 0.7万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华海诚科 | 0.47万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中船特气 | 2.89万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 晶升股份 | 0.68万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 8.11万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中巨芯 | 5.37万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 京仪装备 | 1.52万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 艾森股份 | 0.52万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 上海合晶 | 3.62万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 珂玛科技 | 2.22万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 有研新材 | 5.37万股 | 减持 |
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