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网友提问 :据披露,公司EUV反射镜镀膜设备已向长春理工大学、张江实验室交付10台,用于国产EUV原型机研发。请问该设备在客户端的膜层附着力测试(此前提及达50MPa,超国际标准40MPa)是否已通过长期验证?目前是否启动了下一代High-NA EUV非球面镜片镀膜设备的客户送样?

2025-08-25 18:24:38

汇成真空 (301392): 回答:
www.tetegu.com

2025-08-26 16:28:10

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汇成真空

法定名称:
广东汇成真空科技股份有限公司
公司简介:
2006年8月14日,东莞市汇成真空科技有限公司成立。
经营范围:
真空镀膜设备研发、生产、销售及其技术服务为主的真空应用解决方案供应商
注册地址
广东省东莞市大岭山镇颜屋龙园路2号
办公地址
广东省东莞市大岭山镇颜屋龙园路2号
主营收入
11400