| 2025-09-30 | 北方华创 | 64.02万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 南大光电 | 186.41万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 长川科技 | 119.17万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 114.47万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 安集科技 | 32.37万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 寒武纪 | 18.17万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中芯国际 | 162.83万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 39.63万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 华海清科 | 66.67万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 海光信息 | 76.09万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 影石创新 | 0.06万股 | 不变 |
| 2025-09-30 | 新恒汇 | 0.04万股 | 不变 |
| 2025-09-30 | 屹唐股份 | 0.35万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 华电新能 | 17.61万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 联合动力 | 0.59万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 康强电子 | 10.65万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 北方华创 | 29万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 雅克科技 | 23.33万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 上海新阳 | 17.94万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 南大光电 | 113.76万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 长川科技 | 72.58万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 晶瑞电材 | 34.95万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 江丰电子 | 17.32万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 三佳科技 | 5.13万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 江化微 | 9.69万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 至纯科技 | 10.94万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中微公司 | 69.15万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 安集科技 | 19.3万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 13.23万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 华峰测控 | 13.37万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 神工股份 | 4.45万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 沪硅产业 | 135.37万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 寒武纪 | 10.05万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中芯国际 | 97.22万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 立昂微 | 44.05万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中晶科技 | 2.83万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 盛美上海 | 14.59万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 天岳先进 | 14.17万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 22.81万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华海清科 | 27.27万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 海光信息 | 45.47万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 联动科技 | 2.45万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 富创精密 | 12.56万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 有研硅 | 15.51万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 金海通 | 3.13万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华海诚科 | 2.11万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中船特气 | 13.06万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 晶升股份 | 3万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 36.69万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中巨芯 | 24.16万股 | 增持 |
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