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| 2026-03-31 | 北方华创 | 101.01万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 南大光电 | 266.23万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 长川科技 | 171.03万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 168.77万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | DR寒武纪 | 22.02万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中芯国际 | 210.81万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 65.03万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 95.4万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 海光信息 | 98.04万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 80.98万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 禾元生物 | 0.35万股 | 未变 |
| 2026-03-31 | 中国铀业 | 0.23万股 | 未变 |
| 2026-03-31 | 摩尔线程 | 0.03万股 | 未变 |
| 2026-03-31 | 电科蓝天 | 0.17万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 慧谷新材 | 0.1万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 康强电子 | 19.73万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 北方华创 | 77.43万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 雅克科技 | 41.97万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 上海新阳 | 32.87万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 南大光电 | 205.51万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 长川科技 | 132.12万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 晶瑞电材 | 80.13万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 江丰电子 | 31.84万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 有研新材 | 44.36万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 三佳科技 | 9.55万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 江化微 | 16.8万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 135.28万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 安集科技 | 35.1万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 24.02万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华峰测控 | 27.64万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 神工股份 | 7万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 沪硅产业 | 284.75万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | DR寒武纪 | 17.39万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 中芯国际 | 162.19万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 立昂微 | 80.28万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中晶科技 | 5.35万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 盛美上海 | 28.3万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 天岳先进 | 32.24万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 50.05万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华海清科 | 73.62万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 海光信息 | 75.48万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 联动科技 | 3.86万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 富创精密 | 22.89万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 有研硅 | 55.97万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 金海通 | 4.92万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华海诚科 | 3.55万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中船特气 | 23.65万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 晶升股份 | 4.75万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 62.41万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中巨芯 | 44.25万股 | 增持 |
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